ラピダスが大きく前進

 ラピダスが大きく前進した。710日に2nm GAAトランジスタの試作を開始、動作確認を発表した。これは、「顧客候補が十分に満足していただける動作性能を確認できた」という。20228月に設立、202391日に工場(正式にはIIM-1)起工式、202412月にクリーンルーム環境整備、最先端装置を集結。2nmプロセスのリソグラフィ工程でEUV露光装置導入、202412月の装置搬入から約3カ月後の202541日にパターンの露光・現像に成功、20256月までに200台以上の世界最先端の枚葉式半導体製造装置が全く新しい搬送システムにより接続され2nm GAAトランジスタの試作を開始というスピード感である。RapidusIIM-1にて2nmノード GAAランジスタの動作を確認 - Rapidus株式会社