経産省は2日EUVセンターを千歳に整備、2029年度稼働を発表した。産総研が主体となって、大学やベンチャー、装置メーカーや部素材企業などが利用できる施設とし、研究開発や競争力強化を後押しする。予算規模1000億円。25年度予算で確保した318億円の一部、補正予算案に盛り込んだ988億円を施設の建設や製造装置の導入費用に充てる。整備状況次第で追加の支援も検討という。ASMLのEUV装置を導入する。先端半導体の試作拠点、29年度に北海道で稼働 経産省が1000億円投資 - 日本経済新聞
日経は11月に産総研の発表として「つくばスーパーCR」内に2nm半導体向け技術の拠点整備を報じていたが、キヤノンのNILだけでは2nmは難しい上、FEOL設備しかなく不思議だったが、今回の発表と併せて考えるべきだ。2ナノ半導体向け技術の検証拠点、企業や大学に開放 産総研 - 日本経済新聞
いずれにしても、画期的な決断である。EUVはTSMCやサムスン等が既に導入、国内ではマイクロンが広島に保有している。しかしながら、世界では、台湾のサイエンスパークにもITRIや大学には、EUVはなく、公共のインフラとしては世界に先駆け初の試みである。ラピダスにもプラスであり、アカデミアやスタートアップ、研究機関も大きなノウハウ蓄積になる。